流程图：

原理：

由PSA变压吸附或膜分离制氮系统所生产的原料氮气（体积含氧量～1%）与少量氢混合后，在一只装有钯触媒催化剂的反应器内粗氮中的残余氧与氢气反应生成水蒸气，化学反应式如下：

2H₂+O₂—2H₂0+反应热

离开反应器的高纯氮先经冷却器冷却，以除去冷凝水。再经吸附干燥器干燥，最终可得非常洁净干燥的氮气产品（产品气露点可达-70℃）。

特点：

采用高效催化剂除氧，启动温度低，除氧速度快，除氧范围广，适用于含氧量较高，对过量氢不作过高要求的工艺生产。

设备设计经凑，占地面积小。

出口气体指标稳定。

耗电量小，节能可靠。

技术参数

原料氧含量：≤1%
产品气纯度：≥99.9995%
产气流量： 1~5000m³/h 
产品氧含量：≤5ppm
产品氢含量：≤0.5%

设备相片